珠海首条自主6英寸MEMS产线投产
深耕压电MEMS工艺及关键技术
1月15日，云际芯光（珠海）微电子有限公司（简称：云际芯光）首条自主建设的6英寸MEMS芯片生产基地通线仪式在珠海市金湾区盛大举行。云际芯光董事长、珠海湖南商会会长、金湾区副区长和珠海市工业和信息化局副局长等出席活动并致辞。
云际芯光6英寸MEMS芯片生产线项目，位于珠海市金湾区，从投建启动到贯通仅用时约一年，实现了在珠海特色工艺半导体制造领域的关键突破。
活动现场，通过企业宣传片，带领嘉宾了解了云际芯光从技术攻关到产线落成的发展历程，诠释了“以科技创新赋能产业升级”的坚定信念与产业抱负。
活动伊始，云际芯光董事长王庆初表示，项目团队在一年内高效完成了从规划蓝图到工艺调试的全过程，创下“建设周期最短、通线速度最快”的行业新纪录。该生产线实现了压电MEMS芯片领域从设计、工艺到规模生产的全链条自主可控，有效填补了珠海特色工艺半导体制造领域的空白，并为珠海集成电路产业注入了坚实力量。
此次通线标志着公司已构建设计、工艺到制造的全链条闭环，显著提升市场响应与产品交付能力，为未来快速发展奠定制造基础。王庆初指出，公司将持续加大研发投入，聚焦“传感+通信+频率”三大方向，拓展产品矩阵，推动MEMS芯片在更多新兴领域的创新应用。
其次，珠海湖南商会会长郭俊德表示，此次产线顺利通线，标志着企业迈入全新发展阶段。期待云际芯光以此为契机，持续深耕MEMS领域，充分发挥技术及产能优势，不断推出具备竞争力的产品与解决方案，实现更广阔发展格局。
珠海市金湾区副区长敖炜致辞表示，金湾区坚持“工业立区、智造强区”，将集成电路作为“5+2+N”现代产业体系的核心赛道。云际芯光产线的建成，为金湾完善集成电路产业链、推动上下游企业集聚提供了关键支撑。希望云际芯光以此为契机，扎根金湾、深耕创新，与区域协同发展，共同打造具有竞争力的半导体产业高地，为新质生产力发展注入强劲动能。
随后，珠海市工业和信息化局副局长施洋表示，云际芯光自2023年扎根珠海，专注压电MEMS芯片领域，携手天津大学高校构建了研发设计到规模制造的全链条技术体系。其四大产品矩阵，技术指标已对标国际一流。期待云际芯光以产线通线为新起点，加大科研投入，加快产品创新，深化产学研合作，拓展MEMS技术应用，打造更多具有全球竞争力的硬核产品。让我们政企同心，携手将珠海建设成为国内领先的特色工艺半导体产业化高地，为制造强国贡献珠海力量。
继而，天津大学副教授、博士生导师、云际芯光技术专家崔魏巍为大家进行产品推介，展现了产线核心技术矩阵与产品蓝图。他介绍，SMR滤波芯片：应用于5G/6G、卫星通信等领域，已推出50余款产品，频率覆盖1GHz-8.5GHz。PMEMS声学传感器：基于自主研发的IPP芯片架构，性能媲美传统陶瓷传感器，且体积更小、可靠性更高，适用于水听、测距、流量检测等场景。高基频石英晶振：采用自主QMEMS工艺，频率可达70-300MHz，其中156.25MHz产品已实现对国际主流型号的国产替代。高精度压力传感器：目标精度0.01%FS，适用于工业监测、高端装备等领域。
同时，公司拥有完整的自主知识产权，目前已申报专利30余项，并建成涵盖设计、工艺、封装测试的全流程研发体系。产线具备光刻、薄膜、刻蚀、键合等全流程工艺能力，可实现SMR滤波器、石英晶振等产品的规模化生产。
值此盛典，云际芯光与多家行业领先客户达成战略合作，这既是对云际芯光技术实力、产品质量和产能潜力的高度认可，也为产线通线后的快速爬坡与高效运行注入了强劲市场动力。
未来，云际芯光将继续深化压电MEMS技术研发，推动更多国产芯片走向市场，为中国半导体产业的自主化与高端化注入“芯”动力。
